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系統(tǒng)用于磨片、拋光等前道工藝流程中的晶圓尺寸及形貌檢測(cè),包括TTV,Bow,Warp,TIR等參數(shù),可覆蓋4寸-12寸任何材質(zhì)晶圓的關(guān)鍵尺寸檢測(cè),精度達(dá)國際水平,產(chǎn)能和經(jīng)濟(jì)效益遠(yuǎn)超國內(nèi)外產(chǎn)品。
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