UltraINSP - 晶圓表面缺陷檢測(cè)系統(tǒng)

簡(jiǎn)要描述：UltraINSP晶圓表面缺陷檢測(cè)系統(tǒng)是表面缺陷檢測(cè)的蕞完善的國(guó)產(chǎn)化替代產(chǎn)品，系統(tǒng)包括四個(gè)模塊可以檢測(cè)所有晶圓表面并同步采集數(shù)據(jù)：晶圓正面、背面、邊緣缺陷檢測(cè)模塊；輪廓、量測(cè)和檢查模塊

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更新時(shí)間：2024-03-19
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UltraINSP晶圓表面缺陷檢測(cè)系統(tǒng)是表面缺陷檢測(cè)的蕞完善的國(guó)產(chǎn)化替代產(chǎn)品，系統(tǒng)包括四個(gè)模塊可以檢測(cè)所有晶圓表面并同步采集數(shù)據(jù)：晶圓正面、背面、邊緣缺陷檢測(cè)模塊；輪廓、量測(cè)和檢查模塊；其提供了自適應(yīng)數(shù)據(jù)采集控制，創(chuàng)新地利用測(cè)量評(píng)估結(jié)果匹配多傳感融合測(cè)量技術(shù)以保證檢測(cè)準(zhǔn)確與穩(wěn)定，系統(tǒng)可蕞大程度的替代進(jìn)口缺陷檢測(cè)設(shè)備，具有很高的經(jīng)濟(jì)效益。

目前可定制的缺陷類型：