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UltraFilm - 薄膜測(cè)量系統(tǒng)

簡要描述:系統(tǒng)可以為各種材質(zhì)薄膜提供高精度的厚度均勻性測(cè)量。使用創(chuàng)新的融合光譜反射技術(shù)、近紅外干涉技術(shù)以及高亮度光源驅(qū)動(dòng)的光譜橢偏儀技術(shù)的多傳感器融合測(cè)量技術(shù),是國內(nèi)可以實(shí)現(xiàn)同質(zhì)膜厚全自動(dòng)檢測(cè)的系統(tǒng)。

  • 產(chǎn)品型號(hào):
  • 廠商性質(zhì):代理商
  • 產(chǎn)品資料:
  • 更新時(shí)間:2024-03-21
  • 訪  問  量: 849

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系統(tǒng)可以為各種材質(zhì)薄膜提供高精度的厚度均勻性測(cè)量。使用創(chuàng)新的融合光譜反射技術(shù)、近紅外干涉技術(shù)以及高亮度光源驅(qū)動(dòng)的光譜橢偏儀技術(shù)的多傳感器融合測(cè)量技術(shù),是國內(nèi)可以實(shí)現(xiàn)同質(zhì)膜厚全自動(dòng)檢測(cè)的系統(tǒng)。

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*1:靜態(tài)精度或可稱為同點(diǎn)位多次連續(xù)測(cè)量的最大偏差值,數(shù)據(jù)為針對(duì)50um厚度雙拋玻璃片進(jìn)行實(shí)驗(yàn)的結(jié)果

*2:多次取放測(cè)量同點(diǎn)位數(shù)據(jù)的最大三倍標(biāo)準(zhǔn)差值,數(shù)據(jù)為針對(duì)50um厚度雙拋玻璃片進(jìn)行實(shí)驗(yàn)的結(jié)果

 

 

 

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