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  • EVG7300多功能紫外納米壓印光刻系統(tǒng)

    多功能EVG7300 UV納米壓印光刻系統(tǒng)可以支持多種相關(guān)的UV工藝:SmartNIL,晶圓級(jí)光學(xué)(WLO)和堆疊-三種功能合并在一個(gè)靈活的工具中

    更新時(shí)間:2024-03-19
    型號(hào):EVG7300
    廠商性質(zhì):代理商
    瀏覽量:2368
  • EVG610納米壓印光刻系統(tǒng)

    納米壓印支持多種標(biāo)準(zhǔn)光刻工藝,例如真空,軟,硬和接近曝光模式,并可選擇背面對(duì)準(zhǔn)。此外,該系統(tǒng)還為多功能配置提供了附加功能,包括鍵對(duì)準(zhǔn)和納米壓印光刻(NIL)。

    更新時(shí)間:2024-03-19
    型號(hào):EVG610
    廠商性質(zhì):代理商
    瀏覽量:6272
  • EVG6200 NT掩模對(duì)準(zhǔn)光刻系統(tǒng)

    EVG6200 NT以其自動(dòng)化靈活性和可靠性而著稱(chēng),可在最小的占位面積上提供了優(yōu)于其他品牌的掩模對(duì)準(zhǔn)技術(shù),并具有最高的產(chǎn)能,先進(jìn)的對(duì)準(zhǔn)功能和優(yōu)化的總擁有成本。操作員友好型軟件,最短的掩模和工具更換時(shí)間以及高效的全球服務(wù)和支持使它成為任何制造環(huán)境的理想解決方案。EVG6200 NT或安裝的EVG6200 NT Gen2掩模對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)有半自動(dòng)或自動(dòng)配置,并配有集成的振動(dòng)隔離功能。

    更新時(shí)間:2024-03-19
    型號(hào):EVG6200 NT
    廠商性質(zhì):代理商
    瀏覽量:2715
  • HERCULES量產(chǎn)型光刻機(jī)系統(tǒng)

    光刻機(jī)Track系統(tǒng)通過(guò)集成的生產(chǎn)系統(tǒng)和結(jié)合掩模對(duì)準(zhǔn)和曝光以及集成的預(yù)處理和后處理的高度自動(dòng)化功能,完善了EVG光刻機(jī)產(chǎn)品系列。HERCULES光刻機(jī)Track系統(tǒng)基于模塊化平臺(tái),將EVG已建立的光學(xué)掩模對(duì)準(zhǔn)技術(shù)與集成的清潔,光刻膠涂層,烘烤和光刻膠顯影模塊相結(jié)合。將HERCULES平臺(tái)變成了“一站式服務(wù)”,在這里將經(jīng)過(guò)預(yù)處理的晶圓裝載到工具中,然后將結(jié)構(gòu)化的經(jīng)過(guò)處理的晶圓退回。

    更新時(shí)間:2024-03-19
    型號(hào):HERCULES
    廠商性質(zhì):代理商
    瀏覽量:2412
  • EVG720自動(dòng)化SmartNIL紫外納米壓印光刻系統(tǒng)

    長(zhǎng)達(dá) 150 毫米的自動(dòng)化全場(chǎng)紫外納米壓印解決方案,采用 EVG 專(zhuān)有的 SmartNIL 技術(shù)

    更新時(shí)間:2024-03-19
    型號(hào):EVG720
    廠商性質(zhì):代理商
    瀏覽量:775
  • EVG770 NT分步重復(fù)納米壓印光刻機(jī)

    我們的EVG770分步重復(fù)納米壓印光刻機(jī)是用于步進(jìn)式納米壓印光刻的通用平臺(tái),可用于有效地進(jìn)行母版制作或?qū)迳系膹?fù)雜結(jié)構(gòu)進(jìn)行直接圖案化。這種方法允許從蕞大50 mm x 50 mm的小模具到蕞大300 mm基板尺寸的大面積均勻地復(fù)制模板。結(jié)合金剛石車(chē)削或直接寫(xiě)入方法,分步重復(fù)刻印通常用于有效地制造晶圓級(jí)光學(xué)器件制造或EVG的SmartNIL工藝所需的母版。

    更新時(shí)間:2024-06-17
    型號(hào):EVG770 NT
    廠商性質(zhì):代理商
    瀏覽量:1017
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