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Revasum擁有多年研磨和拋光超硬材料(如SiC)的經(jīng)驗(yàn),6EZ SiC拋光機(jī)是市場上僅有的一款專門為拋光SiC基片而設(shè)計(jì)的SiC CMP工具,競爭對手的拋光機(jī)基本上是為拋光硅集成電路而設(shè)計(jì)的,這有一套非常不同的要求,6EZ與其競爭對手之間最重要的區(qū)別在于晶圓載具的設(shè)計(jì)