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接近式光刻機的使用原理及性能指標(biāo)
2024-09-09

大家也許還不是非常的清楚,光刻機的種類有非常的多,其中的技術(shù)原理也不盡相同,下面就由我來給大家簡單介紹一下有關(guān)接近式光刻機的使用原理及性能指標(biāo)。接近式光刻機的使用原理:其實在我國對于接近式光刻機,曝光時掩模壓在光刻膠的襯底晶片上,其主要優(yōu)點...

  • 2021-10-23

    橢偏儀通過測量光在介質(zhì)表面反射前后偏振態(tài)變化,獲得材料的光學(xué)常數(shù)和結(jié)構(gòu)信息,具有測量精度高、非接觸、無破壞且不需要真空等優(yōu)點。橢偏儀的選購指南:1、根據(jù)研究或測試的材料特性來確定光譜范圍,進一步選擇適合光源的橢偏儀。對于透明材料,考慮關(guān)心的折射率光譜區(qū)域;對于短波吸收、長波透明材料,如果關(guān)心吸收區(qū)域折射率及膜厚可擴展到紅外透明區(qū)域來先確定薄膜厚度,然后求解折射率。2、入射角方式選擇。橢偏儀多角度測量可以增加可靠性,但不是總有必要。多角度Z適用于以下幾種場合:多層膜結(jié)構(gòu)、吸收膜...

  • 2021-10-19

    橢偏儀/橢圓偏振儀是一種用于探測薄膜厚度、光學(xué)常數(shù)以及材料微結(jié)構(gòu)的光學(xué)測量儀器。現(xiàn)在已被廣泛應(yīng)用于材料、物理、化學(xué)、生物、醫(yī)藥等領(lǐng)域的研究、開發(fā)和制造過程中。基本原理:橢偏儀的原理主要依賴于光的偏振現(xiàn)象。當(dāng)光線通過某些物質(zhì)時,其偏振狀態(tài)會發(fā)生變化。橢偏儀利用這一特性,通過精確控制入射光的偏振態(tài),并測量經(jīng)過樣品后光的偏振態(tài)變化,進而分析樣品的性質(zhì)。橢偏法測量具有如下特點:1.能測量很薄的膜(1nm),且精度很高,比干涉法高1-2個數(shù)量級。2.是一種無損測量,不必特別制備樣品,也...

  • 2021-10-15

    Filmetrics3D光學(xué)輪廓儀是用于對各種精密器件表面進行納米級測量的儀器,它是以白光干涉技術(shù)為原理,光源發(fā)出的光經(jīng)過擴束準(zhǔn)直后經(jīng)分光棱鏡后分成兩束,一束經(jīng)被測表面反射回來,另外一束光經(jīng)參考鏡反射,兩束反射光最終匯聚并發(fā)生干涉,顯微鏡將被測表面的形貌特征轉(zhuǎn)化為干涉條紋信號,通過測量干涉條紋的變化來測量表面三維形貌。Filmetrics3D光學(xué)輪廓儀具有3倍於于其成本儀器的次納米級垂直分辨率,Profilm3D同樣使用了現(xiàn)今高分辨率之光學(xué)輪廓儀的測量技術(shù)包含垂直掃描干涉(V...

  • 2021-08-20

    硅片電阻率測試模組是一款測量圓柱晶體硅電阻率測試儀器,可測量硅芯,檢磷棒,檢硼棒,籽晶等,由于儀器大大消除了珀爾帖效應(yīng)、塞貝克效應(yīng)、少子注入效應(yīng)等負(fù)效應(yīng)的影響,因此測試精度大大提高,量程實現(xiàn)了電阻率從10-4歐姆.厘米到10+4歐姆.厘米(可擴展)的測試范圍。因此儀器具有測量精度高、穩(wěn)定性好、測量范圍廣、結(jié)構(gòu)緊湊、使用方便等特點。是西門子法、硅烷法等工藝生產(chǎn)原生多晶硅料的企業(yè)、物理提純生產(chǎn)多晶硅料生產(chǎn)企業(yè)、光伏及半導(dǎo)體材料廠、器件廠、科研部門、高等院校以及需要超大量程測試電阻...

  • 2021-07-21

    納米壓印機具有紫外線納米壓印功能的通用研發(fā)掩膜對準(zhǔn)系統(tǒng),支持尺寸從碎片到最大150毫米。該工具支持多種標(biāo)準(zhǔn)光刻工藝,例如真空,軟,硬和接近曝光模式,并可選擇背面對準(zhǔn)。此外,該系統(tǒng)還為多功能配置提供了附加功能,包括鍵對準(zhǔn)和納米壓印光刻。納米壓印機提供快速的處理和重新安裝工具,以改變用戶需求,光刻和NIL之間的轉(zhuǎn)換時間僅為幾分鐘。其先進的多用戶概念可以適應(yīng)從初學(xué)者到專家級別的所有需求,因此使其成為大學(xué)和研發(fā)應(yīng)用程序的理想選擇。對于壓印工藝,本產(chǎn)品允許基板的尺寸從小芯片尺寸到直徑1...

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