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接近式光刻機(jī)的使用原理及性能指標(biāo)
2024-09-09

大家也許還不是非常的清楚,光刻機(jī)的種類有非常的多,其中的技術(shù)原理也不盡相同,下面就由我來(lái)給大家簡(jiǎn)單介紹一下有關(guān)接近式光刻機(jī)的使用原理及性能指標(biāo)。接近式光刻機(jī)的使用原理:其實(shí)在我國(guó)對(duì)于接近式光刻機(jī),曝光時(shí)掩模壓在光刻膠的襯底晶片上,其主要優(yōu)點(diǎn)...

  • 2023-02-20

    在微電子、納米、半導(dǎo)體領(lǐng)域?yàn)榫雍虾凸饪碳夹g(shù)提供設(shè)備技術(shù)方案的供應(yīng)商EVG近期推出了NT系列光刻機(jī)和對(duì)準(zhǔn)測(cè)試機(jī),這是一個(gè)全新的、已經(jīng)被生產(chǎn)廠家驗(yàn)證過(guò)的新型光刻曝光機(jī)以及晶圓對(duì)晶圓(W2W)接合曝光和測(cè)試系統(tǒng),可滿足用戶對(duì)更高光刻精度的需求。業(yè)內(nèi)向更小結(jié)構(gòu)和更密集封裝生產(chǎn)轉(zhuǎn)型的趨勢(shì)帶來(lái)了眾多的新挑戰(zhàn),如對(duì)更高精度的要求,因?yàn)檫@將嚴(yán)重影響設(shè)備的偏差律,并最終影響生產(chǎn)效率和增加成本。新的EVGNT系列光刻機(jī)對(duì)準(zhǔn)機(jī)可極大提高對(duì)準(zhǔn)精度-范圍從1微米至0.1微米-從而為生產(chǎn)廠家在先進(jìn)微...

  • 2023-02-20

    一、簡(jiǎn)介第四次工業(yè)革命以數(shù)年前尚不存在的技術(shù)席卷了我們的生活,其中一些在幾十年前甚至無(wú)法想象。自動(dòng)駕駛汽車已經(jīng)在公共街道上進(jìn)行測(cè)試;無(wú)人機(jī)正在調(diào)查地形,拍攝視頻,派發(fā)包裹;由專業(yè)人士和業(yè)余愛好者創(chuàng)建的大量視頻內(nèi)容正在被拍攝和發(fā)布;固定和移動(dòng)監(jiān)視變得司空見慣;服務(wù)器的體量變得驚人的龐大,4G網(wǎng)絡(luò)正在被5G補(bǔ)充或替代。所有這些趨勢(shì)的共同之處在于,它們生成的大量數(shù)據(jù)必須比以往任何時(shí)候更快、更可靠地進(jìn)行處理、傳輸和存儲(chǔ)。上述這些新應(yīng)用中,許多將需要高級(jí)邏輯器件來(lái)實(shí)現(xiàn)更高的功耗和處理速...

  • 2023-02-17

    納米壓印光刻系統(tǒng)制造商SwissLithoAG今天宣布一種聯(lián)合解決方案,可以生產(chǎn)最小到單納米級(jí)的3D結(jié)構(gòu)。該方案最初在由歐盟第七框架計(jì)劃資助的“超越CMOS器件的單納米制造(SNM)”項(xiàng)目中得到證明,該方案涉及SwissLitho的新型NanoFrazor熱掃描探針光刻系統(tǒng),以生產(chǎn)具有3D結(jié)構(gòu)的主模板用于納米壓印光刻系統(tǒng)和EVG。目標(biāo)應(yīng)用:EVG和SwissLitho最初將以聯(lián)合解決方案為目標(biāo),以開發(fā)衍射光學(xué)元件和其他相關(guān)光學(xué)組件,以支持光子學(xué),數(shù)據(jù)通信,增強(qiáng)/虛擬現(xiàn)實(shí)和其他...

  • 2023-02-16

    光刻技術(shù)是將二維圖案轉(zhuǎn)印到平坦基板上的方法。可以通過(guò)以下兩種基本方法來(lái)實(shí)現(xiàn)圖案化:直接寫入圖案,或通過(guò)掩模版/印章轉(zhuǎn)移圖案。設(shè)定的圖案可以幫助生成襯底上的特征,或者可以由沉積的圖案形成特征。通過(guò)計(jì)算機(jī)輔助設(shè)計(jì)(CAD)定義圖案模式。多數(shù)情況下,這些特征是使用抗蝕劑形成的,可以使用光(使用光致抗蝕劑),電子束(使用電子束抗蝕劑)或通過(guò)物理壓印(不需要抗蝕劑,也叫納米壓印)來(lái)定義圖案特征。圖案的特征可以被轉(zhuǎn)移到一個(gè)基板,再進(jìn)行蝕刻,電鍍或剝離。1.技術(shù)領(lǐng)域根據(jù)所需的特征,有幾種不...

  • 2023-02-15

    Microsense電容式位移傳感器提供高穩(wěn)定性和線性方案、高分辨率、高帶寬測(cè)量方案,用于測(cè)量硬盤驅(qū)動(dòng)馬達(dá),氣動(dòng)軸承轉(zhuǎn)子,X-Y樣品臺(tái)準(zhǔn)確度,光盤,汽車零部件和機(jī)床等測(cè)量。它的用途廣泛:金屬薄片厚度測(cè)量,振動(dòng)測(cè)量,工作臺(tái)垂直度和平坦度測(cè)量,精密馬達(dá)轉(zhuǎn)軸偏振測(cè)量,精密儀器工作平臺(tái)定位,設(shè)備自動(dòng)聚焦測(cè)量(微影設(shè)備、原子力顯微鏡、光罩探測(cè)、圖像確認(rèn)、LCD生產(chǎn)設(shè)備…)它的安裝難度:它是易于安裝的Microsense電容式位移傳感器。MicroSense的電容式位移傳感器使用單個(gè)傳感...

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