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光學(xué)粗糙度測試儀

簡要描述:OptoScan 600是一款光學(xué)粗糙度測試儀,主要用于檢測晶圓缺陷、粗糙度、波紋度、翹曲度等數(shù)據(jù)。

  • 產(chǎn)品型號:OptoScan 600
  • 廠商性質(zhì):代理商
  • 產(chǎn)品資料:
  • 更新時間:2024-03-19
  • 訪  問  量: 1897

詳細(xì)介紹

X/Y 掃描 600x600 (mm) 的面板

OptoScan 600 光學(xué)粗糙度測試儀應(yīng)用:

整體晶圓快速精確檢查

  • 缺陷

  • 粗糙度

  • 波紋度

  • 翹曲

    檢測臺

直線電機 X/Y

700 x 700 (mm)

(Witte) 真空吸盤

帶旋轉(zhuǎn)攝像頭傳感器

OptoScan 600 光學(xué)粗糙度測試儀 檢測結(jié)果

扇出型封裝面板 (FOPLP ) 研磨后的模具粗糙度

Ra values 0.15 µm / Disco Machine.

測量通過拼接 148 次局部區(qū)域掃描(約需 1 小時)


其他推薦:德國OptoSurf WaferMaster WM 300 角分辨光散射(ARS)技術(shù)粗糙度測量系統(tǒng)

先進半導(dǎo)體封測應(yīng)用工藝如扇出型晶圓級封裝 (FOWLP) 及扇出型面板級封裝(FOPLP) 需將晶圓或面板減薄至 50 - 30 µm ,于是晶背研磨工藝后的晶圓粗糙度測量極其重要。OptoSurf 的角分辨散射粗糙度測量系統(tǒng)取代了傳統(tǒng)的 WLI (白光干涉)或 AFM (原子力顯微鏡 )小面積測量技術(shù)已經(jīng)用于超導(dǎo)的高質(zhì)量拋光金屬表面的表面測量中得到充分證明,可在 30 秒內(nèi)精準(zhǔn)測量< 1 nm 的 Ra 值以獲得整個200 毫米晶圓區(qū)域的粗糙度以及微米范圍內(nèi)的翹曲和納米范圍內(nèi)的波紋度。

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