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納米壓印光刻技術(shù)是如何應(yīng)用在生物領(lǐng)域中的?

更新時(shí)間:2022-12-24  |  點(diǎn)擊率:718
  在過去的幾十年中,生物技術(shù)設(shè)備的小型化極大地改善了臨床診斷,藥物研究和分析化學(xué)。現(xiàn)代生物技術(shù)設(shè)備,例如用于診斷,細(xì)胞分析和藥物發(fā)現(xiàn)的生物醫(yī)學(xué)MEMS,通常是基于芯片的,并且依賴于微米級(jí)和納米級(jí)生物物質(zhì)的緊密相互作用。根據(jù)市場研究報(bào)告,越來越多的醫(yī)療保健應(yīng)用正在使用bioMEMS組件。受諸如即時(shí)點(diǎn)測試,臨床和獸醫(yī)診斷等應(yīng)用的推動(dòng),到2021年,已占生物MEMS市場總量的86%。
 
  NIL納米壓印光刻技術(shù)已從利基技術(shù)演變?yōu)閺?qiáng)大的大批量制造方法,該方法可通過將印跡或生物印跡到生物相容性上,從而大規(guī)模生產(chǎn)多種不同大小和形狀的結(jié)構(gòu),例如高度復(fù)雜的微流體通道和表面圖案抵抗或直接進(jìn)入散裝材料。除了結(jié)構(gòu)技術(shù)外,密封和封裝是建立受限微流體通道的核心過程。因此,不同器件層,覆蓋層或互連層的鍵合是關(guān)鍵過程,可以與NIL一起以經(jīng)濟(jì)高效的大面積批量過程實(shí)現(xiàn)。作為NIL和晶圓鍵合的先驅(qū)以及市場和技術(shù)先進(jìn)者,
 
  EVG的NIL納米壓印光刻技術(shù)解決方案可以在生物技術(shù)應(yīng)用中使用的各種基板材料上制造各種小型結(jié)構(gòu),包括玻璃,硅和多種聚合物。每個(gè)EVG NIL解決方案都*地適合于不同的生產(chǎn)應(yīng)用。例如,熱壓花可精確刻印較大的結(jié)構(gòu)以及微結(jié)構(gòu)和納米結(jié)構(gòu)的組合,并且在復(fù)制高縱橫比的特征或使用非常薄的基板時(shí)非常出色。UV-NIL可在納米范圍內(nèi)提供較高的精度,圖案逼真度和產(chǎn)量。微接觸印刷是另一種NIL選項(xiàng),可以將諸如生物分子之類的材料以*的圖案轉(zhuǎn)移到基材上。
 
  憑借其成熟的晶圓級(jí)鍵合設(shè)備,EVG還可以提供與NIL納米壓印光刻結(jié)構(gòu)技術(shù)匹配的密封和鍵合工藝。提供各種不同的鍵合選項(xiàng),從先進(jìn)的室溫鍵合技術(shù)到等離子活化鍵合以及高質(zhì)量的氣密密封和真空封裝。典型解決方案的示例包括用于玻璃和聚合物基板的EVG熱粘合設(shè)備,該設(shè)備通過在大面積上實(shí)現(xiàn)高壓和溫度均勻性而提供出色的結(jié)果。EVG還提供了其室溫選擇性粘合劑轉(zhuǎn)移技術(shù),該技術(shù)可在封裝設(shè)備之前簡化生物分子的摻入。