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光學輪廓儀-岱美百科

更新時間:2023-03-16  |  點擊率:2001
  光學輪廓儀是一種全自動測量設備。操作員只需安裝被測工件,在驗證軟件上設置掃描的開始和結束位置,點擊“開始”按鈕,測量針就會自動接觸工件表面并根據(jù)設置的位置進行掃描;在輪廓掃描過程中,軟件界面會實時繪制輪廓曲線;掃描后,操作員可以通過輪廓分析工具分析生成的輪廓曲線,以獲得直線度、圓度、角度、距離、間距等輪廓參數(shù)。
 

 

  光學輪廓儀應該怎么用
  輪廓儀建立在移相干涉測量(PSI)、白光垂直掃描干涉測量(VSI)和單色光垂直掃描干涉測量(CSI)等技術的基礎上,以其納米級測量準確度和重復性(穩(wěn)定性)定量地反映出被測件的表面粗糙度、表面輪廓、臺階高度、關鍵部位的尺寸及其形貌特征等。廣泛應用于集成電路制造、MEMS、航空航天、精密加工、表面工程技術、材料、太陽能電池技術等領域。
 
  輪廓儀的優(yōu)勢:
  1、美國硅谷研發(fā)的合心技術和系統(tǒng)軟件;
  2、關鍵硬件采用美國、德國、日本等品牌;
  3、PI納米移動平臺及控制系統(tǒng);
  4、Nikon干涉物鏡;
  5、NI信號控制板和Labview64 控制軟件;
  6、TMC光學隔振臺;
  7、測量準確度重復性達到先進水平。