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多層膜厚度測(cè)試儀有哪些重要特性與用途

更新時(shí)間:2024-08-21  |  點(diǎn)擊率:1536
  多層膜厚度測(cè)試是指對(duì)由多個(gè)薄膜層疊加而成的復(fù)合膜進(jìn)行厚度測(cè)量。由于多層膜通常由幾個(gè)不同材料的薄膜層組成,因此測(cè)量其厚度需要考慮不同層之間的界面影響以及每個(gè)單獨(dú)層的厚度。

  多層膜厚度測(cè)試儀是一款快速、準(zhǔn)確測(cè)量薄膜表征應(yīng)用的模塊化產(chǎn)品。它采用先進(jìn)的超聲波技術(shù),實(shí)現(xiàn)了較好的測(cè)量精度,具有優(yōu)秀重復(fù)性和再現(xiàn)性。產(chǎn)品可以在任何生產(chǎn)環(huán)境中操作。附帶的Windows應(yīng)用軟件管理數(shù)據(jù)傳輸和自動(dòng)超聲波波形分析。
 
  目前,產(chǎn)品可應(yīng)用于在線膜厚測(cè)量、測(cè)氧化物、SiNx、感光保護(hù)膜和半導(dǎo)體膜。同時(shí)多層膜厚度測(cè)試儀還可以用來(lái)測(cè)量鍍?cè)阡?、鋁、銅、陶瓷和塑料等上的粗糙膜層。薄膜表面或界面的反射光會(huì)與從基底的反射光相干涉,干涉的發(fā)生與膜厚及折光系數(shù)等有關(guān),因此可通過(guò)計(jì)算得到薄膜的厚度。光干涉法是一種無(wú)損,且快速的光學(xué)薄膜厚度測(cè)量技術(shù),薄膜測(cè)量系統(tǒng)采用光干涉原理測(cè)量薄膜厚度。
 

 

  多層膜厚度測(cè)試儀的特點(diǎn):
  1、可以測(cè)量多層膜中每一層的厚度;
  2、遠(yuǎn)程控制和在線測(cè)量;
  3、豐富的材料庫(kù):操作軟件的材料庫(kù)帶有大量材料的n和k數(shù)據(jù),基本上常用材料都包括在這個(gè)材料庫(kù)中。用戶也可以在材料庫(kù)中輸入沒(méi)有的材料;
  4、操作簡(jiǎn)單,測(cè)速快:膜厚測(cè)量?jī)x操作非常簡(jiǎn)單;
  5、帶有可升級(jí)的掃描功能,進(jìn)行薄膜二維的測(cè)試,并將結(jié)果以2D或3D的形式顯示;
  6、帶有構(gòu)建材料結(jié)構(gòu)的拓展功能,可對(duì)多層薄膜數(shù)據(jù)進(jìn)行擬合分析,可對(duì)薄膜材料進(jìn)行預(yù)先模擬設(shè)計(jì)。
 
  好了!關(guān)于多層膜厚度測(cè)試儀使用特點(diǎn)的講解,今天我們就說(shuō)到這里,希望您看完有所收獲,后期我們會(huì)持續(xù)更新!