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美國FSM高溫薄膜應力及翹曲度測量儀具有哪些特殊功能?

更新時間:2024-04-08  |  點擊率:1533
  翹曲度,用于表述平面在空間中的彎曲程度,在數(shù)值上被定義為翹曲平面在高度方向上距離最遠的兩點間的距離。絕對平面的翹曲度為0。翹曲變形是評定產品質量的重要指標之一。對于相同翹曲影響模式的同一產品時,這些指標可以描述不同設計的翹曲變形的大小程度。但對于不同材料、模具結構等造成翹曲變形的影響模式改變的因素,不同設計下各部分的翹曲變形嚴重程度也隨之改變。
 

 

  美國FSM高溫薄膜應力及翹曲度測量儀具有哪些特殊功能?
 
  1、多重導向銷設計,手動裝載樣品,有優(yōu)異的重復性與再現(xiàn)性研究。
 
  2、優(yōu)異的分辨率——測量0.2um弓形高度變化超過 20M 的平鏡(大約 0.8%)
 
  3、全3D測繪的手動旋轉平臺。
 
  4、測量局部應力---測量42點/mm 并大于8400點/200mm晶圓。這種測量密度獲得更好的信號噪聲比。
 
  5、良好封閉的設計,溫度更穩(wěn)定。
 
  6、特殊的設計使震動偏移降到較低。
 
  7、圖形式使用界面更容易使用。
 
  8、當改變彈性模數(shù),晶圓或薄膜厚度設備會自動重新計算應力保存數(shù)據文檔。
 
  9、可以計算雙軸彈性模量和線膨脹系數(shù)。
 
  10、可以計算應力的均勻性。
 
  11、可以輸出數(shù)據到Excel,提供給SPC分析。